クリーンルームとは、室内の汚染物質(粉じんや微生物など)が最小限になるよう清潔度を保ち、かつ空調をコントロールできる部屋のことである。無塵(むじん)室や無菌室などともいう。工場や病院などに設置します。

クリーンルームは大別して、半導体や電子機器・光学機器などを製造する工業用クリーンルーム(ICR)と、食品や医薬品製造などに供するバイオクリーンルーム(BCR)の2種類に分類される。

クリーンルームを運用する上で大事な4原則がある。汚染物質の進入を防ぐ・汚染物質の発生を防ぐ・汚染物質の蓄積を防ぐ・汚染物質を排出する、の4つである。

空気中の粉じんなどを除去するため、高性能のエアフィルタを通じて空気を送り込む。排気経路から空気を建物の外へ排気させるか、建屋内で循環させる給排気システムを備える。そのシステムは、気流の方向により、一方向流方式・非一方向流方式・混合方式などに分類される。

出入り口には気密性や清潔度を保つための二重扉やエアシャワーなどを設置する。室内の温度や清潔度を保つ空調・熱源設備や、機器の制御・監視システムなども必要。クリーンルームを設置する際は、建築基準法や消防法、条例などで定める設置基準を満たさなければならない。

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